离子束实验室

（Ion Beam Lab）

离子束实验室（原北师大低能所）组成立于1988 年。主要开展金属真空蒸汽子束技术 (MEVVA）和磁过滤等离子体沉积镀膜技术 （FCVA）的研究及其相关应用。包括MEVVA离子源技术、MEVVA 强流金属离子注入材料表面改性技术、脉冲和直流磁过滤等离子体沉积技术的研究，MEVVA离子注入与磁过滤等离子体沉积复合机的研制开发，相关技术和设备的应用研究和应用工艺推广。

离子束实验室获得 “材料表面优化处理MEVVA源的研制”〞强束流重离子注入技术及在金属材料表面改性的应用”，“强束流重离子注入金属机理的研究”“先进低成本离子注入工业应用”四个863课题子项目，研制成功MEVVA源系列注入机和MEVVA系列磁过滤表面沉积装置，被国家科委授予“八六三” 计划先进集体奖,获教育部科技进步一等奖1次，北京市科技进步一等奖1次，国家自然科学三等奖1次，为材料表面优化处理、表面界面物理研究、纳米膜制备及性质研究提供了一个有力工具。

近5年来，离子束实验室发表SCI、EI检索论文50余篇，授权国内外专利和软件著作权近百个，并承担多项科研项目。